扇出晶圓級封裝(FOWLP)是什麼?

2020-06-28

   

FOWLP技術原為德國Infineon Technologies所開發,FOWLP最大的特點在於,在尺寸相同的晶片下讓重分佈層範圍更廣,晶片腳數更多,單晶片可以整合更多功能,並達到無載板封裝、薄型化以及低成本等優點。然而一開始因良率未達期望,因此並未普及,但各大企業仍不放棄,自行改良優化,應用於手機等領域。如台積電以此技術為基礎,開發扇出型晶圓級封裝,生產蘋果iPhone 7/7Plus手機所需要的A10處理器。

      

重分佈製程(RDL)中用於擴展或“扇出”連接點,稱之為Fan-Out。例如,當晶片尺寸縮小,但需要相同數量的接觸點。一種解決方法是將接觸點展開,使其超出晶片的尺寸。該技術的應用是改進的電和熱的性能,同時降低了整體封裝的高度。 

     

扇出晶圓級封裝(FOWLP)通常將前端加工的晶圓切成小塊放入單獨的模具中。然後這些晶片在載流子結構上分隔開,填充間隙形成一個再生晶圓片。一旦人造晶圓片被製造出來,接觸點就可以用WLP處理重新分佈到原模具的周長之外。