什麼是金重新佈線(Au RDL)技術?

2020-06-28

       

RDL (Redistribution Layer)是將原設計的IC線路接點位置(I/O pad),透過晶圓級金屬重新佈線制程和凸塊制程來改變其接點位置,使IC能應用於不同的元件模組。重新分佈的金屬線路為金材料,則稱為金線路重分佈(Au RDL)。

    

所謂的晶圓級重新金屬佈線制程,是先在IC上塗布一層保護層,再以曝光顯影的方式定義新的導線圖案,接下來再利用電鍍和蝕刻技術製作新的金屬導線,以連結原鋁墊(Al pad)和新的金墊(Au pad)或凸塊(bump),達到線路重新分佈的目的。