晶圓為什麼是圓的?

2020-07-31

     

因為製作手法決定了它是圓形的。因為提純過後的高純度多晶矽是在一個子晶(seed)上旋轉生長出來的。多晶矽被融化後放入一個坩堝(Quartz Crucible)中,再將子晶放入坩堝中勻速轉動並且向上提拉,則熔融的矽會沿著子晶向長成一個圓柱體的矽錠(ingot)。這種方法就是現在一直在用的CZ法(Czochralski),也叫單晶直拉法。單晶直拉法手法中的旋轉提拉決定了矽錠的圓柱型,從而決定晶圓是圓形的。