EUV 繼續為 ASML 的客戶提高產量，迄今為止，他們的客戶已經使用 EUV 光刻機曝光了超過 1100 萬個 EUV 晶圓，並交付了 57 個 3400x EUV 系統（3400 平臺是 EUV 生產平臺）。

ASML 計畫繼續提高 EUV 輸送量，同時減少每個晶圓的總能量。尤其是 2 倍的能源節省，這吸引了大家的高度關注。他們還期望通過 NXE3800 系統達到每小時 30mj / cm2 的劑量通量，已達到最高每小時 225 個晶圓的生產能力！