什麼是Dummy Wafer?

2022-01-13

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Dummy wafer(亦被稱為Test Wafer),不同於通常使用的晶圓片產品,主要指用於實驗及檢查等用途的晶圓片。因此,Dummy wafer(Testwafer)中再生晶片被普遍使用。

為了提升製造設備初期製造過程中的穩定性,Dummy wafer也被廣泛投入使用。同時在評測傳輸以及加工形狀中亦會使用。由於在實驗及測試中使用較多,因此尺寸以及厚度在很多情況下很重要。

在各個工程中,使用Dummy wafer(Test wafer)去測試鍍膜厚度,耐壓,光屈率,有無Pinball,如果是石板印刷術,則會在測試圖案以及有無缺陷時使用到Dummy wafer(Test wafer)。

晶圓制程中控片擋片起監控測試和維持穩定作用,為必需部件。矽片按照在晶圓廠的應用場景不同,可以分為兩大類:(1)正片(Prime Wafer),被直接用於半導 體加工,包括拋光片、外延片等;(2)用於監控測試的矽片,包括控片(monitor wafers)、 擋片(dummy wafers)/ 測試晶片(Test Wafer)。

     

製造晶圓的精細要求極高,矽片表面的平整度將直接關係到晶片的性能品質,所以晶圓廠需要時刻對製造設備的性能進行監測測試以及維持穩定,以保證最終的成品率。由於這些測試和維持穩定都是破壞性的,直接使用產品測試以及維持穩定的成本較高,於是廠商一般會使用較便宜的無圖形矽片,這些用於測試和維持穩定的無 圖形矽片就是控片和擋片。

           

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