先進封裝的晶圓翹曲整平解決方案

2021-01-19

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為什麼晶圓翹曲(warpage)導致後續可靠度問題,近期發生頻率這麼高呢?主要的原因來自於越來越多廠商在開發先進製程的晶片,而先這些進製程晶片是由非常多不同材質、不同功能的晶片層層堆疊起來,例如 MCM 多晶片模組、系統級封裝與 Fan-in/Fan-out 等,這樣的元件使用的材料相當複雜且多元,堆疊在一起時,因各層的材質本身熱膨脹係數不同(CTE)就會產生翹曲(warpage) 。

     

除了晶片元件本身會發生翹曲(warpage)外,晶片透過表面黏著技術(SMT)結合到電路板時,因晶片與電路板 CTE 不同,翹曲(warpage)的狀況就會加劇。而當翹曲超過一定的幅度,就會造成 SMT 的焊接品質不良,也影響後續的可靠度測試結果。如何妥善安排這些溫度特性不同的材料依序堆疊,在加熱與散熱時不會互相影響,是相當嚴苛的技術挑戰。晶化科技研發的晶圓翹曲調控膜提供最佳的解決方案,可以調控各種封裝後翹曲程度, 以利後續RDL製程。