2021年5月27日，據產業媒體報導，由於日本信越化學KrF光阻劑產能不足等原因，導致中國大陸多家晶圓廠Kr光阻劑供應緊張，部分中小晶圓廠KrF光阻劑甚至出現了斷供！中芯國際、華宏、士蘭微等晶圓廠或無原材料可用！！

半導體光阻劑是曝光顯影過程的關鍵材料，光阻劑的品質和性能對曝光顯影良率有著重要影響，因其技術門檻極高而長期被國際大廠所主導，是半導體國產化的一大門檻。據悉，信越化學之所以停止供貨部分晶圓廠KrF光阻劑，與數月前日本福島東部海域發生7.3級地震有莫大關聯。

據報導，由於KrF光阻劑產能受限以及全球晶圓廠積極擴產等，佔據全球光阻劑市場份額超兩成的日本供應商信越化學已經向中國大陸多家一線晶圓廠限制供貨KrF光阻劑，且已通知更小規模晶圓廠停止供貨KrF光阻劑。

業內人士表示，未來國內多家晶圓廠或將面臨KrF光阻劑大缺貨的處境。

根據SEMI資料，日本幾大廠商在g線/i線、KrF、ArF膠市場中市占率分別為61%、80%、93%，而大陸國內g線/i線自給率約為20%，KrF光阻劑的自給率不足5%，12寸矽片的ArF光阻劑目前尚無國內企業可以大規模生產。根據智研諮詢預測，2022年中國大陸半導體光阻劑市場空間將會接近55億元，是2019年的兩倍。

以日本半導體光阻劑發展史為鑒，中國國產半導體光阻劑迎來發展良機。上市公司中，晶瑞股份KrF（248nm深紫外）光阻劑完成中試，產品解析度達到了0.25-0.13μm的技術要求，i線光阻劑近年已向中芯國際等企業供貨。上海新陽開發的365nm I線、248nm KrF、193nm ArF幹法及濕法光阻劑可適應國內0.35-0.11微米、90-28納米晶片工藝技術節點的需求。南大光電自主研發的ArF光阻劑產品成功通過下遊客戶的使用認證，成為通過產品驗證的第一隻國產ArF光阻劑，已完成的產線設計產能為25噸。