Q: 根據製程需求FAB排氣分幾個系統?

A：分為一般排氣(General)、酸性排氣(Scrubbers)、鹼性排氣(Ammonia)和有機排氣(Solvent) 四個系統。

Q: 高架 地板分有孔和無孔作用?

A：使迴圈空氣能流通 ，不起塵，保證潔淨房內的潔淨度; 防靜電;便於HOOK-UP。

Q: 離子發射系統作用為何?

A：離子發射系統，防止靜電

Q: SMIC潔淨等級區域劃分

A：Mask Shop class 1 100Fab1 Fab2 Photo and process area：Class 100Cu-line Al-Line OS1 L3 OS1 L4 testing Class 1000

Q: 什麼是製程真空系統(PV)?

A：是提供廠區無塵室生產及測試機台在製造過程中所需的工藝真空;如真空吸筆、光阻液塗布、吸晶片用真空源等。該系統提供一定的真空壓力(真空度大於 80 kpa)和流量，每天24小時運行

Q: 什麼是MAU(Make Up Air Unit)新風空調機組作用?

A：提供潔淨室所需之新風，對新風濕度，溫度，及潔淨度進行控制，維持潔淨室正壓和濕度要求。

Q: House Vacuum System 作用

A：HV(House Vacuum)系統提供潔淨室制程區及回風區清潔吸取微塵粒子之真空源，其真空度較低。使用方法為利用軟管連接事先已安裝在高架地板下或柱子內的真空吸孔，打開運轉電源。此系統之運用可減低清潔時的污染。

Q: Filter Fan Unit System(FFU)作用

A：FFU系統保證潔淨室內一定的風速和潔淨度，由Fan和Filter(ULPA)組成。

Clean room spec：標準

答：Temperature 23 °C ± 1°C(Photo：23 °C ± 0.5°C)Humidity 45%± 5%(Photo：45%± 3% )Class 100Overpressure +15paAir velocity 0.4m/s ± 0.08m/s

Q: 工程師在正常跑貨用純水做rinse或做機台維護時，要注意不能有酸或有機溶劑(如IPA等)進入純水回收系統中，這是因為?

A：酸會導致conductivity(導電率)升高，有機溶劑會導致TOC升高。兩者均會影響並降低純水回收率。

Q: 廢水排放管路中酸堿廢水/濃硫酸/廢溶劑等使用何種材質的管路?

A：酸堿廢水/高密度聚乙烯(HDPE)濃硫酸/鋼管內襯鐵福龍(CS-PTFE)廢溶劑/不L鋼管(SUS)

Q: 公司做水回收的意義如何?

A：(1) 節約用水，降低成本。重在環保。(2) 符合ISO可持續發展的精神和公司