晶化自主研發雷射解膠膜 應用在新 3D 晶片堆疊技術
2022-07-14晶化自主研發雷射解膠膜 應用在新 3D 晶片堆疊技術
根據外媒報導,藍色巨人 IBM 和日本半導體設備商東京電子日前宣布,在 3D 晶片堆疊方面獲得了新得技術突破,成功運用了一種新技術將 3D 晶片堆疊技術用於的 12 吋晶圓上。由於晶片堆疊目前僅用於高階半導體產品,例如高頻寬記憶體 (HBM) 的生產。不過,在 IBM 與東京電子提出新的技術之後,有機會擴大 3D 晶片堆疊技術的應用。
通常這些載體晶片由玻璃製成。藉載體晶圓與晶圓的鍵合,以確保它可以在生產過程中不受損壞。完成生產後,使用紫外雷射去除載體。在某些情況下,也可以使用載體晶片,但將其進行層與層分離需要物理的機械力來幫助,這對於晶圓的完整性可能是造成風險。因此,在這 IBM 與東京電子新開發的技術上,將使用紅外線雷射來進行層與層分離,進一步剝離兩個對矽穿孔的晶片,將能有效的降低破壞晶片完整性的風險。
另外,新技術也將允許在不使用玻璃載體的情況下堆疊兩個矽晶片。相反,製造商可以跳過這一步,直接進入矽晶圓跟暨晶圓連接堆疊的步驟。IBM 表示,除了不再需要這個額外步驟來簡化流程之外,還有其他優勢。例如,它表示它將有助於消除工具兼容性的問題,億降低缺陷的風險之外,並允許對薄晶圓進行線上測試。IBM 指出,這些優勢將使先進的小晶片結構生產變為簡易,也使得其技術可以廣泛的被應用。
晶化科技自主研發雷射解膠膜,可應用於3D 晶片堆疊技術,有別於現在市面上液態的雷射解膠液產品,雷射解膠膜有另一個優勢就是具有固晶的作用,可節省上固晶膠的動作,省時又節省成本。
產品比較:
產品 | 雷射解膠液 Laser De-Bond Liquid | 雷射解膠膜 Laser De-Bond Film |
耐熱性 | 好 | 好 |
耐化性 | 一般 | 好 |
操作性 | 一般 | 好 |
可否固晶(Die Bond) | 不行 | 可以 |
光學對位 | 可以 | 可以 |