光阻稀釋劑
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光阻塗佈；有兩個衡量指標：厚度(Thickness) 與均勻度 (Uniformity)。
光阻塗佈時的用量，只有與能否覆蓋整片晶圓有關，但是在旋塗的過程中，約有40~60%是噴灑出去的。厚度與旋轉速度有關，Rotating speed；均勻度則與recipe的設置有關，一般的Coater，轉速的限制在500～3000rpm。
光阻稀釋劑常見的為 OK73 或 EBR7030 等產品，其中主要成份分別為丙二醇單甲基醚(PGME)與丙二醇單甲基醚酯(PGMEA)這兩種化學物質。
什麼是EBR?
EBR 全名為 Edge Bead Remover
用途為:EBR是使用溶劑噴洗的
因為旋塗中有所謂的離心力，造成光阻會跑到晶邊與晶背，若是不除去，可能造成承接晶圓的機械手臂無法精準拿取，以及後續的熱製程中，particle掉入chamber內，需要一筆非常大的維修費用與時間。
■ OK-73 (PGME + PGMEA)
■ NTH-100
■ EBR-10
■ PGMEA
■ PGME
月產貨量: 20,000L
可少量 or 小包材出貨，歡迎學校和研究單位來電詢問!
安全資料表SDS下載:
OK73 SDS
NTH-100 SDS
EBR-10 SDS
PGMEA SDS
PGME SDS
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